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张应叙 先生
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发布时间:2020-05-06 00:44:02
进行显影的方式有很多种,广泛使用的方法是喷洒方法。这种显影方式可以分为三个阶段:硅片被置于旋转台上,并且在硅片表面上喷洒显影液;然后硅片将在静止的状态下进行显影;显影完成后,需要经过漂洗,之后再烘干。
显影后留下的光刻胶图形将在后续的刻蚀和离子注入工艺中作为掩模,因此,显影是一步重要的工艺。严格的说,在显影时***区和非***区的光刻胶都有不同程度的溶解。***区与非***区的光刻胶溶解速度反差越大,显影后得到的图形对比度越高。
关于蚀刻成型,区分蚀刻部分与不蚀刻部分,都是通过防蚀材料来实现的,利成今天为大家介绍一下常用丝印法蚀刻使用什么防蚀材料。
用于丝印图文转移的防蚀材料都是一些抗蚀油墨,蚀刻加工一般分为碱性蚀刻体系与酸性蚀刻体系,因此丝印防蚀油墨液也分为抗碱油墨和抗酸油墨两种。
抗碱油墨主要用作铝合金的蚀刻,这种油墨是由一些不溶于碱和酸的有机高分子材料配制而成,蚀刻过程结束后,在用有机溶液或其专用清洗剂进行清除脱墨,然后完成产品。
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